全反射X射線由X射線激發(fā)源、全反射光路系統(tǒng)、探測(cè)器、放大器、脈沖高度分析器和配置的計(jì)算機(jī)組成。主要是利用全反射將激發(fā)源一次X射線在樣品上由散射引起的背景大大降低，故精度很高。它檢測(cè)靈敏度高，可達(dá)納克級(jí)以上（10-9¬——10-12g），定量分析簡(jiǎn)單，無(wú)集體效應(yīng)操作簡(jiǎn)單。
由于TXRF分析技術(shù)用樣量很少，也不需要制作樣品的煩瑣過(guò)程，又沒(méi)有本底增強(qiáng)或減弱效應(yīng)，不需要每次對(duì)不同的基體做不同的基體校準(zhǔn)曲線。另外由于使用內(nèi)標(biāo)法，對(duì)環(huán)境溫度等要求很低。因而在簡(jiǎn)便性、經(jīng)濟(jì)性、用樣量少等方面，都比WXRF方法有明顯的*性。
在元素分析領(lǐng)域內(nèi)的應(yīng)用現(xiàn)狀和發(fā)展前景都是令人鼓舞的。它可以廣泛應(yīng)用于地礦、冶金、化工、食品、生物、醫(yī)藥、環(huán)保、法檢、考古、高純材料等等各領(lǐng)域內(nèi)的常量、微量、痕量元素分析測(cè)定。特別在半導(dǎo)體工業(yè)中的硅片表面質(zhì)量控制方面，有著不可替代的優(yōu)勢(shì)，目前已在國(guó)際上得到廣泛應(yīng)用。
1、地礦：金礦、銅精料和鎳精料、螢石、長(zhǎng)石、氧化銻；
2、冶金：鎳電解液、銅陽(yáng)極泥、高冰鎳中的貴金屬、光譜純Rh、金銀首飾、鑄鐵、軸承；
3、化工：柴油中的硫含量，各種催化劑，陶瓷釉藥；
4、環(huán)境保護(hù)：自來(lái)水、大氣飄塵、污水污泥；
5、生物：海洋動(dòng)物牙齒和體液；
6、醫(yī)藥：頭發(fā)和指甲中的有益有害元素，丹參中有害微量元素；
7、食品：飲料中有益和有害元素；
8、刑偵法醫(yī)：撞車現(xiàn)場(chǎng)樣品鑒定。
